激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。
氣體激光器的重要特點(diǎn)之一,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF)激光,可稱為第三代激光。
激光混合氣用途:
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡氣氦-氖激光混合氣:
1.2.0-8.3He用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和國防建設(shè)等領(lǐng)域二氧化碳激光混合氣
2.0.413.513.08.06.016.08-124.57.08.08.016.06-82.04.04HeHeHeHeHeHe主要用于激光加工、如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫(yī)療上用的激光外科等氪-氟激光混合氣
3.5101-1.2HeHe用于保護(hù)膜暴光以及化學(xué)反應(yīng)等領(lǐng)域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光密封束激光混合氣。
4.18.532.5H2作研究用的密封激光器準(zhǔn)分子激光混合氣
5.25.89.80.004150.25ArHeHeAr準(zhǔn)分子激光器用于醫(yī)療上的外科手術(shù)